国内薄膜沉积设备龙头，布局三大产品系列。公司立足薄膜设备积极布局多元化产品系列，产品包括PECVD、ALD 和SACVD 设备，下游客户覆盖中芯国际、华虹集团、长江存储等国内一线逻辑、存储及功率等晶圆厂商。公司2022 年营收同比增长125.02%至17.06 亿元，2017-2022 年营收年均复合增速达57.6%。

    　　PECVD 设备：公司核心产品，产业化持续推进。公司深耕薄膜设备近十余年，形成了覆盖全系列PECVD 薄膜材料的设备，目前是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD 设备厂商，产品广泛应用于逻辑、DRAM、3D NAND 及先进封装领域，设备本土主要产线覆盖率超15%，公司持续扩大产品应用领域，产品市占率持续提升。

    　　SACVD 设备：产业化应用和国产替代先锋。公司系国内外SACVD 设备稀缺标的，产品性能对标国际一线大厂应用材料，已覆盖长江存储、华虹集团以及上海积塔等客户，主要产线设备覆盖率超25%，随着公司积极开拓国内外市场，后续将打开成长空间。

    　　ALD 设备：市场规模持续增长，有望成为新增长亮点。受益于先进制程持续推进，市场对ALD 设备需求加速增长。根据Acumen research and condulting，由于半导体先进制程产线数量增加，预计2026 年全球ALD 设备市场规模达到32 亿美元，高价值新品布局及放量有望成为后续一大亮点。

    　　投资建议：预计公司2023-2025 年营收分别为28.00、40.95、54.73 亿元，归母净利润分别为5.06、7.71、10.20 亿元。公司从价值量大、技术含量高且国产化较薄弱的PECVD 设备突破，占据先发优势，持续高投入拓展新品，丰富产品矩阵。作为国内薄膜沉积设备龙头，随着工艺覆盖范围逐步拓展以及新产品快速推出，公司营收和盈利有望快速增长，给予公司2023 年20 倍PS，对应股价为442.8 元/股，给予“增持”评级。

    　　风险提示：下游客户验证不及预期，竞争加剧，部分关键零部件卡脖子风险